沪某半导体行业集成ic制做厂，晶圆粗加工过程中 中造成含硅、氟的异常废污水，制作处里产值1200吨/日。废污水物质繁杂，含有微米级硅顆粒及氢氧化钠，民俗处里的方法难考核标准。 生产废水营养成分及从何而来 一般水工业废气 ：溶液硅（100-500nm粒度）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 因素生产工序 ：晶圆刻蚀污水（45%）、CMP化学上的机械性抛光剂污水（40%）、环保设备清洁水（15%） 补救加工具体流程 研发利用"化学式沉淀物中+珍禽膜拆分"技木交通路线： 钙盐凝固 ：污泥脱水氯化钙出掉氟亚铁离子（合成CaF2奠定） 水解酸化池体现 ：软型斜管沉淀池剂达到橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜截流微细粉末 反渗入平台 ：脱盐率>98%，利用率75% 蒸馏成果 ：浓水段实现了氟化物零释放 终极使用效果 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（不低于国内二级标准的10mg/L） 硅含磷量：<5mg/L 水成本使用率：70%使用在待玻璃钢冷却塔保湿 危险废物回收利用：蒸发掉碎渣量较传统型制作工艺限制60%