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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体器件基带芯片制造技术厂在晶圆精加工的过程 中,实用硅烷来硅外延性生長,氮氧化合物洗衣塔引起高氧浓度含硅生活污水。生活污水更具pH起伏大(2-11)、硅分量高的共同点,传统的处理工艺易显示硅垢拥堵的问题。 废渣营养成分及来历 生产废水基本化学成分为: 分解性硅酸盐 :SiO₂浓度值达1000-1500mg/L 氢阳极氧化钠/氢阳极氧化钠 :洗衣塔酸性洗衣液留 颗料硅 :纳米级级SiO₂电解质溶液 痕量砷 :化学原料硫氰酸盐融入 治疗加工过程程序 技术创新选用"两极中合+膜吸附+化掉结晶体"加工: 1级采和 :用CaO自动调节pH至4-5,添加硅酸钙放置,硅去掉率60%。 五级中合 :加Na₂CO₃将pH提升自己至9,进两步水解用不完硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透装置机系统 :0.02μm陶瓷制品膜滤水纳米级级硅颗粒剂,通量不稳在80LMH。 MVR化掉器 :精炼高盐污水,沉淀出Na₂SO₄副新产品,水中水回用率超90%。 不可能体验 总硅从1500mg/L调至5mg/L这 砷量从0.8mg/L减至0.01mg/L 体系无积灰加载大于2年 第二年回收利用磷酸钠硫化锌约800吨

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