某半导体器件基带芯片制造技术厂在晶圆精加工的过程 中,实用硅烷来硅外延性生長,氮氧化合物洗衣塔引起高氧浓度含硅生活污水。生活污水更具pH起伏大(2-11)、硅分量高的共同点,传统的处理工艺易显示硅垢拥堵的问题。
废渣营养成分及来历
生产废水基本化学成分为:
分解性硅酸盐
:SiO₂浓度值达1000-1500mg/L
氢阳极氧化钠/氢阳极氧化钠
:洗衣塔酸性洗衣液留
颗料硅
:纳米级级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:化学原料硫氰酸盐融入
治疗加工过程程序
技术创新选用"两极中合+膜吸附+化掉结晶体"加工:
1级采和
:用CaO自动调节pH至4-5,添加硅酸钙放置,硅去掉率60%。
五级中合
:加Na₂CO₃将pH提升自己至9,进两步水解用不完硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置机系统
:0.02μm陶瓷制品膜滤水纳米级级硅颗粒剂,通量不稳在80LMH。
MVR化掉器
:精炼高盐污水,沉淀出Na₂SO₄副新产品,水中水回用率超90%。
不可能体验
总硅从1500mg/L调至5mg/L这
砷量从0.8mg/L减至0.01mg/L
体系无积灰加载大于2年
第二年回收利用磷酸钠硫化锌约800吨