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某大规模半导体存储芯片开发各个工厂坐落在长半圆沿海地区,关键生孩子方式晶圆和存储芯片。在生孩子方式方式中,晶圆打磨和打磨抛光的时候导致很大精磨液污水,平均简单产量下跌约50吨。由污清水中富含高密度浮悬物、合金材料铁离子及设计“食品添加剂的,简单简单废气会对生态形成重要污染源,各个工厂急求制作职业 补救体系。
生产废水组分及起源
精磨液污水首要来原于晶圆生产加工中的耐腐蚀机戒抛光处理(CMP)制作工序,首要造成的废水也包括:
悬屏科粒物
:二硫化硅、硫化铝等磨研科粒,粒度分布在0.1-1μm,氨水浓度达到了2000mg/L。
轻金属化合物
:铜、铁、锌等,位于cnc精密机械加工垫受到磨损及晶圆表明彩石层,铜正离子浓硫酸浓度约50mg/L。
生产添加图片剂
:收录面生物剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强酸碱度材料
:pH值起伏大,通常情况下在2-11区间内。
正确处理加工过程方法
共性污废水 特点,应用“采样+生化模式+的深度补救”结合生产技术:
调低池
:营养均衡饮用水质供水量,调用碱酸设定pH至弱酸性。
水泥混凝土结晶
:添加PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),剔除悬浮物物和氢氧化铁,沉降后SS剔除率>90%。
催化被氧化被氧化
:运用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机会使用剂,COD快速清理率达60%。
动物解决
:MBR膜海洋生物不良流化床反应器进十步光降解累计可挥发物,COD降落到100mg/L以内。
阴离子互相交换
:常用树酯离心分离铜阴离子,出液铜含铁<0.5mg/L。
砂滤+化学活化炭滤过
:保障有水出清辙,到《脏水综合性进行排放准则》(GB8978-1996)4级准则。
终于功能
设计自动运行维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
循环率达40%,多余及格废气,年增多废水处理工艺废气1.6万吨。
加工处理投资成本约15元/吨,远超过相关行业平均的。